EDX-7000/8000能量色散X射線分析是x射線能譜分析的一種儀器。在電子與物質(zhì)相互作用時(shí)，采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級(jí)x射線，不同元素發(fā)射出來(lái)的特征x射線波長(zhǎng)不同，能量也不同。

 

　　EDX-7000/8000能量色散X射線分析利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析，所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀。主要單元是半導(dǎo)體探測(cè)器及多道脈沖高度分析器，用以將特征x射線按能量展i｝｝Er7，5的分辨率遠(yuǎn)不如波長(zhǎng)色散譜儀，它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)，和通用的x射線波長(zhǎng)色散譜儀相比可提高10倍，如果進(jìn)行物相鑒定，只需幾分鐘就可以得到被測(cè)物質(zhì)的全部衍射花樣。

 

　　通過(guò)測(cè)定熒光X射線的能量實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為能譜儀，通過(guò)測(cè)定熒光X射線的波長(zhǎng)實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)樣品分析的方式稱之為波長(zhǎng)色散X射線熒光分析，相應(yīng)的儀器稱之為X射線熒光光譜儀。

 

　　根據(jù)激發(fā)方式的不同，X射線熒光分析儀可分為源激發(fā)和管激發(fā)兩種：用放射性同位素源發(fā)出的X射線作為原級(jí)X射線的X熒光分析儀稱為源激發(fā)儀器；用X射線發(fā)生器（又稱X光管）產(chǎn)生原級(jí)X射線的X熒光分析儀稱為管激發(fā)儀器。

 

　　能量色散型又根據(jù)探測(cè)器的類(lèi)型分為（Si－PIN）型和SDD型。在不同的應(yīng)用條件下，這幾種類(lèi)型的技術(shù)各有其突出的特點(diǎn)。目前，X射線熒光分析不僅材料科學(xué)、生命科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等普遍采用的一種快速、準(zhǔn)確而又經(jīng)濟(jì)的多元素分析方法。

 

　　這也是X射線熒光光譜儀也是野外現(xiàn)場(chǎng)分析和過(guò)程控制分析等方面常用儀器之一。同時(shí)，成為地質(zhì)、冶金、建材、石油化工、半導(dǎo)體工業(yè)和醫(yī)藥衛(wèi)生等領(lǐng)域的重要分析手段。